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如上所述，超聲清洗的主要作用機理是超聲空化作用，存在于液體中的微聲場的作用下振動，當聲壓達到一定值時，氣泡將迅速增長，然后突然閉合，在氣泡沖擊波，在其周圍產生上千個大氣壓的壓力，破壞不溶性污物而使它們分散在清洗型空化對污層的直接反復沖擊，一方面破壞污物與清洗件表面的吸附；另一方面也層的勞破壞而與工件表面脫離。氣體型氣泡的振動對固體表面進行擦洗結，氣泡還能鉆入裂縫中作振動，使污層脫落。由于超聲空化作用，兩種液體在界面迅數而乳化，當固體粒子被油污裹著而粘附在清洗件表面時，油被乳化，固體粒子即行脫空化氣泡在振蕩過程中，將伴隨著一系列二階現象發生，如輻射扭力。

在均勻液體中扭力作用于液體本身，從而導致液體本身的環流，即稱之為聲流。這個聲流可達到厘米量級較大的范圍，也可限于微米量級較小的范圍內。后者常被稱為微聲流，它可使脈動氣泡表面處在很高的速度梯度和粘滯應力，這種應力有時高達1000dm/m2以上，足以對工件表面污物造成破壞而使其脫落。超聲空化在固體和液體界面上所產生的高速微射流能夠除去或邊界污層，增加攪拌作用，加速可溶性污物的溶解，強化化學清洗劑的清洗作用。在強調聲化與聲流對清洗的主要貢獻的同時，還不應忽略清洗液超聲振動本身對貢獻。例如20kHz,2W/m2的超聲波在清洗液中傳播時，它將引起質點的振動位移幅度為1.32m、速度為0.16m/s、加速度為2.04×104m/s2(約為2000g，g為重力加速度)聲壓為2.45×105Pa(2.45atm)。這表明，工件表面的污物層每秒將遭受到清洗液2萬次從正2。大氣壓到負2.45大氣壓激烈的沖擊。這是對行波場計算的結果，事實上，在清洗槽中更接近于混響場，可能使這一過程更為激烈,這樣LCD液晶顯示屏才能被清洗得干凈。